第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机(第1/4页)

作品:《大国芯工好看吗

“岸然,这事我必须当面和你说清楚,这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样?”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”

“张教授,你倒是说啊!”

张大京嘴角带着笑,指着王岸然说道:“岸然,我一直以为你比别的年轻人沉得住气,现在看来,只是没找到你感兴趣的东西啊!”

王岸然白了张大京一眼,说道:“张教授,你再不说,我可要翻脸了啊!”

“好!好!”张大京摇摇头,说道:“岸然,有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”

额,王岸然感觉呼吸都有些急促,krf准分子激光光源有两种波长,一种是248纳米,另外一种就是193纳米。

这跟高压汞灯光源不一样的是,高压汞灯光源还属于可见光,而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究,而且取得了相应的成果,不过适用于光刻的248纳米光源,要求的是百焦级别的高功率,以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。

门槛就在这里。

事实上,ibm早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻,而十五年过后,对国内来说,还是一道深不可测的技术门槛。

没想到,这玩意竟然被张大京搞来了……

王黯然忙问道:“张教授,我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的,你怎么……?”

“岸然,你错了,瓦森纳协议中限制出口的列表,今年没有把248纳米krf列入其中。

不过需要说明的是,这款激光器是不可以用作军事用途的,所以,他们会派人监管,并定期检查的。”

自己的消息还是滞后了啊!

王岸然摇摇头,如果248纳米光刻机解除禁运的话,国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步,甚至在深紫光上有了突破。

原因很简单,瓦森纳协议的核心就是n-2政策,西方审批出口的依据就是,对华出口的设备必须是落后两代。

而实际上,审批程序很复杂,等真拿到设备的时候,差不多已经是第三代的了,基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。

这也没办法,王岸然